主營(yíng)特種氣體的廣東華特氣體股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“華特氣體”）申請科創(chuàng )板上市已注冊生效，并于近日上市交易。作為國家戰略新興產(chǎn)業(yè)的代表，華特氣體將成為首家登陸科創(chuàng )板的特種氣體企業(yè)。

華特氣體成立于1999年，總部位于廣東佛山，經(jīng)過(guò)20多年的發(fā)展，通過(guò)不斷引進(jìn)、改良、創(chuàng )新電子特氣生產(chǎn)技術(shù)，目前已成為國內最大的綜合性氣體企業(yè)之一。

特種氣體民族品牌崛起歷程

隨著(zhù)電子行業(yè)興起，工業(yè)氣體門(mén)類(lèi)逐步細分，特種氣體應運而生。作為關(guān)鍵性材料，特種氣體廣泛應用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保、醫療等領(lǐng)域。

特種氣體生產(chǎn)過(guò)程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，且下游生產(chǎn)芯片、電子設備的企業(yè)對其純度、精度要求極高，因而特種氣體行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。國內特種氣體興起于20世紀80年代，但由于技術(shù)、工藝、設備等多方面差距明顯，初期基本依賴(lài)進(jìn)口。

初期國內氣體公司在電光源氣體、激光氣體、消毒氣等領(lǐng)域發(fā)展迅速，不過(guò)與國外氣體公司相比，產(chǎn)品結構仍較為單一，且用氣級別不高。特別是在高端領(lǐng)域，國外氣體公司占據了絕大部分市場(chǎng)份額。截至2017年，空氣化工集團、液化空氣集團、大陽(yáng)日酸株式會(huì )社、普萊克斯集團、林德集團等國外氣體公司在集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等領(lǐng)域的市場(chǎng)份額仍超過(guò)80%。

經(jīng)過(guò)多年持續的研發(fā)和投入，以華特氣體為代表的國內氣體公司已陸續實(shí)現IC用高純二氧化碳、高純六氟乙烷、光刻氣等近20個(gè)產(chǎn)品的進(jìn)口替代，同時(shí)涌現出中船重工七一八所、黎明化工研究院、綠菱氣體、南大光電等優(yōu)秀企業(yè)，民族品牌逐步崛起。與國際企業(yè)相比，國內企業(yè)擁有低成本、貼近客戶(hù)、反應靈活等優(yōu)勢，競爭力正不斷增強。

華特氣體助力國產(chǎn)芯片發(fā)展

中國芯片短板由來(lái)已久，10年前無(wú)論芯片設備供應商還是芯片材料供應商均來(lái)自歐美日韓等發(fā)達國家，同樣的，光刻氣體大部分由國外企業(yè)提供。

光刻機是半導體制造的核心設備，而光刻氣體是光刻機產(chǎn)生深紫外激光的光源。不同的光刻氣能產(chǎn)生不同波長(cháng)的光源，其波長(cháng)直接影響了光刻機的分辨率，是光刻機的核心之一。

國內近年連續建設了多條8寸、12寸大規模集成電路生產(chǎn)線(xiàn)、高世代面板生產(chǎn)線(xiàn)，同時(shí)國家也發(fā)布了多項指導性文件，推動(dòng)關(guān)鍵材料國產(chǎn)化，其中就包括特種氣體。為保障供貨穩定、服務(wù)及時(shí)、控制成本，特種氣體國產(chǎn)化的需求迫切。

華特氣體的4種光刻氣產(chǎn)品分別為Ar/F/Ne混合氣、Kr/Ne混合氣、Ar/Ne混合氣、Kr/F/Ne混合氣，是國內唯一通過(guò)ASML公司認證的氣體公司，也是全球僅有的上述4個(gè)產(chǎn)品全部通過(guò)其認證的四家氣體公司之一。2017年華特氣體的這4種光刻氣產(chǎn)品在國內市場(chǎng)占有率達到60%，位居國內第一。

由于產(chǎn)品得到市場(chǎng)廣泛認可，華特氣體積累了中芯國際、華虹宏力、長(cháng)江存儲、武漢新芯、華潤微電子、臺積電（中國）、和艦科技、士蘭微電子等眾多芯片企業(yè)客戶(hù)，其中對中芯國際的供貨連續3年保持在2000萬(wàn)元以上，對華潤微電子的供貨連續2年保持在1400萬(wàn)元以上。此外，長(cháng)江存儲、華虹宏力等知名芯片企業(yè)均出現在其前五大終端客戶(hù)名單中。

隨著(zhù)成功登陸科創(chuàng )板、以及研發(fā)實(shí)力的增強，華特氣體未來(lái)將為國產(chǎn)芯片的發(fā)展提供更大助力、貢獻更大力量。